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簡要描述:譜量根據(jù)客戶實(shí)際應(yīng)用需求,推出簡易型基礎(chǔ)測試探針臺(tái),結(jié)構(gòu)小巧,功能實(shí)用,性價(jià)比高的簡易模塊化探針臺(tái),該探針臺(tái)系統(tǒng)包括顯微成像模塊、四維調(diào)整載物臺(tái)、真空吸附系統(tǒng)、探針座、隔振平臺(tái)等。 多用于晶圓測試、LED測試、功率器件測試、MEMS測試、PCB測試、液晶面板測試、太陽能電池片測試、側(cè)料電阻率測試等。
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詳細(xì)介紹
品牌 | 其他品牌 | 整體位移精度 | 10um |
---|---|---|---|
漏電精度 | 100fA/10PA | 背電極 | 可以引出背電極 |
光學(xué)放大倍數(shù) | 270倍 |
產(chǎn)品介紹
TLRS系列簡易型基礎(chǔ)測試探針臺(tái)是我司根據(jù)產(chǎn)業(yè)用戶生產(chǎn)檢測需要,而特定設(shè)計(jì)的一款簡易便攜高性價(jià)比探針臺(tái),滿足產(chǎn)線基本電學(xué)參數(shù)測試同時(shí)兼顧低成本優(yōu)勢,已成為工業(yè)生產(chǎn)領(lǐng)域批量檢測的理想之選。
技術(shù)優(yōu)勢:
. 結(jié)構(gòu)緊湊,功能實(shí)用,高性價(jià)比;
. 樣品臺(tái)XYZR四維調(diào)節(jié),整體分辨率10μm,360°旋轉(zhuǎn)可鎖緊;
. 滿足1μm以上電極/PAD使用;
. 兼容多種顯微鏡,可引入光路,完成光電mapping測試;
. 漏電精度可達(dá)10pA/100fA(屏蔽箱內(nèi));
. 精密傳動(dòng)機(jī)構(gòu),線性移動(dòng),無回程差設(shè)計(jì);
. U型探針架,可以放置多個(gè)探針座;
. 整體尺寸小,方便攜帶,底部蜂窩隔振板,提高測試穩(wěn)定性。
模塊介紹:
通用參數(shù):
常規(guī)選型:
相關(guān)配件:
多種精度,多種夾具類型探針座
同軸線纜,三同軸線纜
各種類型探針
真空泵
電學(xué)測試夾具
電磁屏蔽箱
應(yīng)用領(lǐng)域:
半導(dǎo)體材料光電檢測、功率器件測試、MEMS測試、PCB測試、液晶面板測試、測量表面電阻率測試、精密儀器生產(chǎn)檢測、航空航天實(shí)驗(yàn)等。
譜量光電可根據(jù)客戶實(shí)際應(yīng)用需求,定制配套簡易型基礎(chǔ)測試探針臺(tái),以達(dá)更好的測試效果及更高的性價(jià)比,具體信息可聯(lián)系詳詢。
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